Imec и Cadence подготовили к производству первый тестовый 5-нанометровый кристалл

Исследовательский центр imec и компания Cadence Design Systems сообщили о завершении подготовки к передаче в производство первого 5-нанометрового кристалла, рассчитанного на изготовление с использованием иммерсионной литографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне с длиной волны 193 нм (EUV 193i).

Чтобы подготовить тестовый кристалл, imec и Cadence оптимизировали правила проектирования, библиотеки и технологию размещения и трассировки. Используя в качестве тестового образца процессор, специалисты imec и Cadence вывели несколько вариантов изделия в расчете на технологию 193i с применением четырехразового формирования структур с самовыравниванием (SAQP). При этом металлические площадки были уменьшены с номинального шага 32 нм до 24 нм.

Для проектирования использовалась система Innovus Implementation System, в которой архитектура с массовым параллелизмом объединена с передовыми приемами оптимизации.

Источник: imec ^[1]

Источник ^[2]