Система EVG 570R2R предназначена для выпуска гибкой электроники и оптики методом рулонной нанопечатной литографии

Компания EV Group, специализирующаяся на решениях для нанотехнологии, литографии MEMS и полупроводникового производства, представила первую в отрасли машину для рулонной термической нанопечатной литографии (NIL) ^[1]. Изделие получило обозначение EVG 570R2R. Оно создано в сотрудничестве со специалистами Industrial Consortium on Nanoimprint (ICON) и A*STAR Institute of Materials Research and Engineering (IMRE).

С помощью EVG570R2R можно серийно изготавливать пленки и поверхности со структурами микро- и наномасштаба, предназначенные для использования в разнообразных медицинских, потребительских и промышленных приложениях, включая гибкую электронику, оптику и фотогальванические устройства. Первый экземпляр системы достался сингапурскому отделению IMRE, где он будет использоваться в исследованиях, направленных на изучение промышленного потенциала нанопечатной литографии.

К достоинствам рулонной технологии относится низкая стоимость и высокая производительность, а также возможность обрабатывать большие поверхности.

Источник: EV Group ^[2]

Источник ^[3]