Половина всех машин для EUV-литографии принадлежит одному производителю

Компания TSMC на этой неделе провела технологический симпозиум, на котором она рассказала о своих достижениях ^[1] и планах ^[2]. Наряду с этим крупнейший контрактный производитель микросхем опубликовал интересную статистику.

По подсчетам компании TSMC, в ее собственности находится 50% всех машин для литографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне (EUV). Это оборудование выпускает только один производитель в мире — нидерландская компания ASML, а среди покупателей — только крупнейшие производители полупроводниковой продукции.

Учитывая, что производительность машин разнится и не все они используются для серийного производства, на долю TSMC приходится 60% мощностей для EUV, если считать по количеству пластин, обрабатываемых в единицу времени.

В настоящее время на предприятиях TSMC в крупносерийном производстве освоено всего два технологических узла с применением EUV — 7 нм+ и 5 нм, однако это больше, чем у любого из конкурентов. Все будущие нормы будут осваиваться с использованием машин EUV.

Что касается конкурентов, только Samsung в настоящее время использует EUV в серийном производстве, выпуская продукцию по нормам 7 нм. Компания Intel пока только планирует начать выпуск по собственному 7-нанометровому техпроцессу, который станет первым техпроцессом Intel, в котором используется EUV-литография.

Источник ^[3]