«Росатом» запускает производство гексафторида вольфрама высокой чистоты: он используется для производства полупроводников

Учёные госкорпорации «Росатом» создали технологию производства гексафторида вольфрама высокой чистоты. Сейчас уже проектируется первая в России площадка, где это соединение будут выпускать в промышленных объёмах — с полным циклом: от реакторов до аналитического оборудования. Разработку ведёт НИИ НПО «Луч». Там сделали опытные установки для двух ключевых этапов очистки — сорбционной и ректификационной. Кроме того, завершены методики контроля качества: научились точно измерять, сколько в материале примесей, в том числе газовых и металлических.

«Нам удалось создать уникальное оборудование для оснащения нового производства», — сказал генеральный директор НИИ НПО «Луч» Павел Карболин.

^[1]

Шестифтористый вольфрам используется в разных отраслях промышленности, в том числе при производстве полупроводников — он способен вступать в качественные реакции с кремнием, водородом, силаном и германом.

Источник ^[2]