Российские учёные показали, как делать наногравировку по стеклу

Учёные из МФТИ, ИХФ им. Семенова, МГУ и ИПХФ разработали метод быстрого и дешёвого создания сенсоров и микросхем наномасштабов: для этого используют механизм лазерного нанесения структур на текло с разрешением менее 100 нанометров. Для представления технологии учёные выгравировали ^[1] аббревиатуру Института Химической Физики ICP на стекле.

Учёные использовали фемтосекундный лазер для нанесения структур на поверхность прозрачного материала, в данном случае — стекла. Проблема в подобных задачах — минимальный размер детали такой структуры, он ограничен длиной волны лазера. Для улучшения разрешения применяют эффект ближнего поля: фокусируют луч с помощью металлических наночастиц или слоя диэлектрических микросфер в качестве линзы.

Российские учёные использовали иной способ — они создали с помощью пучка света в жидкости ловушку и поместили в неё стеклянные микросферы. Это устройство можно передвигать, чтобы фокусировать лазер в нужную часть стекла. При воздействии лучом лазера и нагревании на поверхности образовываются бугорки, которые затем обрабатывают щёлочью для получения гладких ямок. Минимальная ширина полученного учёными кратера равна 70 нанометрам.

Новый метод можно будет использовать в микрофлюидике — для создания сверхточных схем, работающих с жидкостью, рассказывает ^[2] соавтор статьи, аспирант прикладной физики МФТИ Александр Шахов.

Экспериментальная установка

Автор: ivansychev

Источник ^[3]