Минпромторг выделил 2,4 млрд рублей на разработку отечественного сканирующего электронного микроскопа для измерения критических размеров на полупроводниковых пластинах. Новая установка должна заменить японское оборудование Hitachi, поставки которого в Россию ограничены санкциями, сообщает CNews со ссылкой на портал госзакупок.
Речь идет о создании промышленно-ориентированного CD-SEM-микроскопа для контроля пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Опытный образец планируется выполнить в версии для пластин 200 мм. Установка должна использоваться для неразрушающего измерения ширины линий, размеров контактных отверстий, расстояний между элементами структуры и других критических параметров на кремниевых пластинах.
В техзадании прямо указаны зарубежные ориентиры — Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000. При этом ключевые узлы будущей российской системы — электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумные насосы, механизм загрузки и выгрузки пластин, контроллер и программное обеспечение — должны быть отечественного производства. Иностранные компоненты допускаются только в исключительных случаях и по согласованию с Минпромторгом. Работы должны быть завершены до июня 2030 года.
