Институт производственных технологий LG (LG Production Engineering Research Institute, LG PRI) начал коммерческие поставки собственной системы прямой лазерной литографии высокого разрешения (Laser Direct Imaging, LDI). Первыми заказчиками стали LG Innotek и один из зарубежных производителей печатных плат.
Стоимость одной установки составляет примерно $2 млн. В LG сообщили, что система лишь недавно вышла в серийное производство, однако компания уже ведет переговоры с новыми клиентами и реализует совместные проекты.
Главная особенность новой разработки — полный отказ от фотошаблонов. Вместо них рисунок формируется непосредственно ультрафиолетовым лазером, который наносит схему сразу на поверхность заготовки. Такой подход позволяет существенно сократить время подготовки производства, упростить внесение изменений в конструкцию изделий и снизить производственные затраты, особенно при выпуске небольших партий.
По данным LG, система способна создавать элементы размером от 1,5 до 3 микрометров. Для повышения точности она оснащена фирменной технологией RTAC (Real-Time Active Compensation), которая в режиме реального времени отслеживает и компенсирует возможные деформации материала во время экспонирования. Это позволяет работать с крупными подложками размером до 600 × 600 мм.
Новая установка рассчитана на производство современных полупроводниковых подложек и слоев перераспределения соединений (RDL). Она поддерживает работу с различными материалами — от традиционных печатных плат до кремниевых пластин и перспективных стеклянных подложек. В LG рассчитывают, что оборудование найдет применение при выпуске современных решений для упаковки микросхем, включая технологии FoCoS и CoPoS.
