Рубрика «магнетронное распыление»

Прохождение излучения в EUV степпере
Прохождение излучения в EUV степпере

Часто в обсуждениях, посвященных внедрению все более мелких техпроцессов изготовленя СБИС, всплывает тема рентгеновской литографии. Тема довольно сложная, и запутанная, особенно если обсуждать вопрос "кто кого родил - Cymer или ASML. Но этот пост совершенно не про историю.

Читать полностью »

Вакуумметр для манометрического преобразователя ПМТ-2

Привет GeekTimes! Не так давно я начал собирать установку ионно-плазменного (магнетронного) напыления (Часть1). В процессе испытания и работы с установкой было принято много решений по ее модернизации и улучшению.

Вакуумметр для манометрического преобразователя ПМТ-2 - 1
Читать полностью »

Здравствуйте беспокойные умы. Сегодня речь пойдет об установке магнетронного напыления, полностью спроектированной и изготовленной своими руками.

Читать полностью »


https://ajax.googleapis.com/ajax/libs/jquery/3.4.1/jquery.min.js